마그네트론 스퍼터링 코팅 시스템은 건축용 반사 유리 또는 거울 및 장식용 다채로운 유리에 적용될 수 있습니다. 잘 설계된 대면적 스퍼터링 음극은 최대로 유리에 코팅을 할 수 있습니다.2540×3660mm의 크기.최적화된 설계와 정밀한 제조는 더 작은 펌핑 시스템을 사용하여 더 높은 진공도와 더 짧은 주기 시간을 보장할 수 있습니다.스퍼터링 챔버의 모듈식 설계로 다양한 재료 및 공정 가스로 다층 코팅을 쉽게 달성할 수 있습니다.
우리는 평면 음극, 회전 음극 및 이중 매그 음극과 같은 고객 선택을 위해 고객을 위한 스퍼터링 음극 유형을 제공합니다.
사양
| 모델 | 최대유리 크기(m) | 주기 시간 (최소) |
연간 출력 (6,000시간) |
음극 | 코팅 챔버 |
| MSGC1830 | 1.83X2.44 | 5 | 320,000m2 | 삼 | 1 |
| MSGC1830 | 1.83X2.44 | 2 | 800,000m2 | 7 | 삼 |
| MSGC2440 | 2.44X3.66 | 5 | 640,000m2 | 삼 | 1 |
| MSGC2440 | 2.44X3.66 | 2 | 1,600,000m2 | 7 | 삼 |
